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微孔滤膜介绍(二)

[导读]微孔滤膜由于它具有滤除微生物和微粒子的性质故广泛应用于检测分析和生产工艺过程中。

微孔滤膜的应用

   微孔滤膜由于它具有滤除微生物和微粒子的性质故广泛应用于检测分析和生产工艺过程。

   近年来随着对高技术产品的高纯化和高功能化的要求不断提高,精密过滤技术的应用领域也不断拓宽。在电子工业、光学工业、原子能工业、制药工业、精细化工、医疗事业、医疗器材工业、食品工业、化妆品工业、生物技术和各类实验室中,以去除水、各种有机溶剂、化学药品、气体和空气中的0.2μ一下超微粒子、细菌、噬菌体、孢子等微孔过滤技术整不断得到发展。

微孔滤膜在以下几个领域得到广泛的应用

   1、在电子工业中的应用:随着微电子工业的不断发展,特别是大面积集成电路和微波大功率半导体的发展,对生产这些产品的原材料和周围环境的要求越来越高,如对空气、气体、溶剂、腐蚀剂、光致抗蚀剂和水等必须十分清洁,才能保证产品质量

   气体净化过滤,主要除去大气中悬浮着的尘埃、灰烬、纤维、毛发、煤烟、花粉、原生动物、孢子、细菌、病毒等组成的混合物。在制造电子器件的工作室内的空气,要清洁过滤,一般采用层流式高效空气过滤器,它以超细玻璃纤维质做过滤介质。但对净化工作室或超净工作台的空气微粒污染监测,却用微孔滤膜采样计算。对于直接用于制造过程中的少量空气,氮气等,在气体输送管道中,装上低压微孔滤膜滤器,以净化之用,对气体过滤一般用纤维素酯膜、聚四氟乙烯滤膜。

   溶剂净化过滤,电子工业中需要高纯溶剂,微孔滤膜用于溶剂超净,以除去大于滤膜孔径的微粒,溶剂过滤一般用再生纤维素滤膜、聚氯乙烯滤膜和聚四氟乙烯滤膜

   腐蚀剂净水过滤,在电子工业中,腐蚀剂通常指酸类,如氢氟酸,硫酸或盐酸等,由于它们具有强烈的腐蚀性,易于和它们接触的物体起化学反应产生杂质。即使净化过滤后的腐蚀剂,存于玻璃瓶内,几天后就产生几万颗微粒。所以腐蚀剂的菁华原则是随用随净化过程,一般用聚四氟乙烯和聚氯乙烯滤膜。

   光致抗蚀剂净化过滤,光致抗蚀剂由高聚物制成,它溶于溶剂中,也溶于光敏自由基引发剂内。系高粘滞流体,国旅时,要深层过滤和滤膜联合使用。预滤以除去大量悬浮污染物,膜滤以除去剩下的微粒和纤维,保证绝对过滤效果。

   超纯水的制备,电子工业中,许多地方都使用超纯水,这对保证产品质量起着重要的作用。微孔滤膜主要应用在:

   1、超纯水中心系统的末端过滤,每个集成电路工厂,都有一个制造超纯水的中心系统,然后通过分配系统,将超纯水输送至使用点,纯水中心处理系统中,微孔滤膜的作用是:阻止中心造水系统中各单元释放的活性炭成文、树脂碎片、微生物等污染物进入分配系统;减少使用点的微粒污染水平;在中心造水系统中出去大量微粒、可大大延长使用点微孔滤膜寿命。

   2、使用店滤膜(终端过滤),使用点微孔滤膜的作用:放置从中心系统到使用点间,超纯水再污染;使用出绝对除去大于滤膜孔径的一切固体污染物;使用者可自行调整微孔滤膜孔径,已获得不同参数的水质。

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