隔膜真空泵内部压力从进气端到排气端逐渐升高且明显呈梯度分布,级间存在返流现象,在排气侧的高压区该现象更严重;气体流速在泵腔内部分布较均匀,但在进排气口处速度更大并在进气口处速度最大,小间隙处存在气体流速突然增大的现象;内部温度逐级增大,温度最大处发生在排气侧。分析隔膜真空泵不同间隙下的内部压力情况,间隙的改变大幅度影响了极限压力和级间压力差,随着间隙的变小返流量变小,极限真空度提高并增大了级间的压力差,保证较高的排气压力抑制了排气时欠压缩现象。天津市津腾实验设备有限公司分析了不同导程数的内部压力情况,随着导程数的增多,级间压力分布更均匀,利于减小极限压力;此外,对比等螺距转子与隔膜真空泵变螺距转子内部压力场分布,隔膜真空泵可得等螺距在极限压力上有优势,而变螺距由于内压缩的存在排气更稳定。最后,开展了不同结构的转子对泵抽气性能影响的实验研究工作,设计了等螺距、渐变螺距与三段式螺距的螺杆转子,便于实现性能对比,控制各个转子的几何参数和抽气能力相同,并对其进行静态干涉与动态干涉检查,保证加工制造的可行性。天津市津腾实验设备有限公司了解并且依据实际工况施加温度分布和约束条件,对三种结构转子进行热-结构耦合分析,比较三种转子在稳定工作状态时的变形量情况,为三种转子的间隙设计提供参考和支撑。并基于隔膜真空泵抽气理论实验平台,确定天津津腾真空泵测试内容及针对抽气性能和内部温度的测试方法,提出在同一隔膜真空泵腔内实现多种结构转子的性能测量方案,并结合实际泵腔结构调整压力和温度的测试点的位置。围绕抽气压力曲线、功耗压力曲线及级间压力测试情况,分析不同的压缩方式对隔膜真空泵抽气性能影响。综上所述,本文对隔膜真空泵不同类型转子的抽气性能进行了相关的理论分析。