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隔膜真空泵应用技术

[导读]文章介绍了隔膜真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。从工作原理和工艺实现方面,分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性。天津市津腾实验设备有限公司介绍了隔膜真空泵膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展,并总结了当前存在的技术障碍。

结果表明,目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态直至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后,其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低,但具有低功耗、可集成优势,对便携式系统和高真空微系统十分必要。

天津津腾GM-0.5A隔膜真空泵产品特点:

1.无需任何工作介质(无油),不产生污染,同时本机气体交换仓内置有过滤材料,从而保证了空气的纯净。

2.生产过程中采用新技术和新材料。它移动方便,工作流畅,从而保证了理想的真空度和较高的空气流速。

3.专用电机已通过欧盟CE认证,由专业电机制造商ODM提供,合理的转动设计,装有温度保护器,在泵体温度达到130℃后自动断电,长期运转情况下保护电机不受损坏。

4.采用无摩擦的膜体运动,不产生热量,无摩擦损耗。膜片采用进口橡胶,耐腐蚀使用寿命长。

5.机体内设计有自动冷却排风系统可保证24小时连续运转。

6.采用压力可调式设计,可满足一定范围内的真空度和气体流速。

7.轴承采用进口轴承,运转平稳,噪音低,工作效率高。

8.体积小、重量轻、移动方便、节省实验室空间、方便维修和保养。

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